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      日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

      更新时间:2021-10-11 16:50:03

      日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

      F60自动测绘膜厚测量系统是F50的高端机型,具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。
      只需将样品放在载物台上,然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。

      主要特点

      • F50高端机型,带缺口检测、自动基线功能和互锁机制

      • 自动测量对准、基线和薄膜厚度映射

      主要应用

      半导体抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

      日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

      产品阵容

      模型F60-tF60-t-UVF60-t-近红外F60-t-EXR
      测量波长范围380 – 1050nm190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
      膜厚测量范围20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
      准确性± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
      2纳米1纳米3纳米2纳米

      测量示例

      可以测量硅晶片上的氧化膜、抗蚀剂等。只需设置样本,对齐、参考等将完全自动完成。



      标签:对准自动膜厚测量系统
      秋山科技(东莞)有限公司
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